超高分辨冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
儀器名稱：超高分辨冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
品牌: 日立
型號：SU9000II
產(chǎn)地：日本
儀器介紹：
一.儀器特點：
1. 內(nèi)透鏡物鏡設(shè)計，像差小,可實現(xiàn)超高倍觀察（SE分辨率：0.4nm@30kV）,低電壓成像能力優(yōu)異（SE分辨率：1nm@1kV）；
2. 全場的冷場發(fā)射電子槍，具有Mild Flash技術(shù);
3. 采用樣品桿進樣，快速更換樣品，高效穩(wěn)定；
4. STEM和EDS性能優(yōu)異，也可選配電子衍射和EELS。
二.主要用途：
兼具了掃描電鏡和部分透射電鏡的功能，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、催化劑等領(lǐng)域。
