儀器名稱：多功能高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

品牌:  日立

型號：SU7000

產(chǎn)地：日本

儀器介紹：

一.儀器特點(diǎn)：

1. 電磁混合透鏡，具有極高分辨能力：0.9nm@1kV；

2. 多探測器組合，可獲取材料表面凹凸和高分辨率形貌、組分、結(jié)晶、熒光等眾多信息;

3. 可在6mm分析工作距離同時(shí)進(jìn)行各類探測器觀察和EDS分析，效率極高；

4. 無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，具有大開倉設(shè)計(jì)，可拓展各類分析附件。

二.主要用途：

兼具了高分辨和分析能力的綜合型場發(fā)射掃描電鏡，可獲取材料多種高分辨信息，用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、金屬、生命科學(xué)、新材料等領(lǐng)域。